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半導體設備空氣彈簧減震器具有優(yōu)異的非線性和硬性

來源：上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時間：2023-05-26 15:58

半導體設備空氣彈簧減震器具有優(yōu)異的非線性和硬性，能限定震幅，防止共振和沖擊共振頻率能夠設計成非常低，甚至低于1Hz，共振頻率通常為5-7Hz。減振效率遠高于其他減振元件，能夠隔離低頻振動。作為具有可調(diào)節(jié)的非線性靜態(tài)剛度和減震特點的減振元件。其特點是力伴隨著運動速度變化而變化。當導氣彈簧力的作用點移動較快時，彈簧阻力明顯，而作用點移動較慢時，阻力很小。

空氣彈簧一般由奧氏體材料或依據(jù)客戶的要求制造。活塞桿行程尺寸8mm的余量，尺寸選擇合理，應力適當。選用球形空氣彈簧和鉸鏈式波紋管，應加裝導向支架，防止波紋管失去了穩(wěn)定性。選用其他方式，補償管道太長時，還應提供導向支撐。補償管道較長時要采用減小磨擦。

空氣彈簧的密封結構設計大多選用結構，兩邊，端面為光滑突面，兩兩邊用螺釘連接到能夠密封嚴密。隔離外部環(huán)境對印壓光刻機的影響，能夠保護壓印機不受低頻激振力的激起。確定了低頻單度減振系統(tǒng)的減振原理，確定了剛度及減振系統(tǒng)的共振頻率，并與實際減振系統(tǒng)的實驗結果相符合，說明印壓光刻機低頻減振設計合理可行。

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